Il miniZ è composto da un emettitore UVC ad alta potenza che si adatta all’interno di un tubo standard per camera a vuoto da 1,5″ di diametro interno e da un alimentatore compatto che si monta direttamente sulla flangia CF40.
Il miniZ è ideale per risolvere i problemi di vapore acqueo in camere a vuoto compatte, mini camere ALD, celle a pressione e camere di load lock. L’alimentatore e dotato di un’opzione di accensione/spegnimento remoto per azionare miniZ tramite un controllore di processo o un setpoint.
Disponibile con flangia CF40 e CF63.
Accessori opzionali: opzione di accensione remota.
