I prodotti RBD per la rimozione del vapore acqueo dalle camere a vuoto includono emettitori a infrarossi ad alta potenza e alta temperatura ed emettitori UVC a bassa potenza e bassa temperatura.
L’utilizzo della luce UV per desorbire il vapore acqueo è ideale per camere dotate di O-ring in Viton, che raggiungono pressioni comprese tra 10⁻⁶ e 10⁻⁷ Torr. I vantaggi includono tempi di svuotamento più rapidi e un vuoto finale inferiore. La luce UVC viene utilizzata anche per decomporre gli idrocarburi.
La serie VB di sistemi di desorbimento dell’acqua basati su infrarossi offre tempi di desorbimento più rapidi nelle camere da vuoto in grado di sopportare il calore delle radiazioni infrarosse ad alta potenza.
